顕微鏡 第45巻▶第3号 2010
■講座

電解研磨法の基礎と実際

坂公恭

名古屋大学名誉教授
名古屋大学エコトピア科学研究所特任教授

要旨:電解研磨法による透過型電子顕微鏡試料の作製法について,最近の進展も含めて概観した.特に,最近多用されているイオンミリングや集束イオンビーム(FIB)法との利害得失を比較した.

キーワード:電解研磨,透過型電子顕微鏡試料,超微量電解液研磨法

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