顕微鏡 第47巻▶第2号 2012
■講座

STEMによる結晶構造観察

木本浩司

物質・材料研究機構

要旨:走査透過電子顕微鏡による環状暗視野像は,結晶構造を直視的に観察できることから近年広く用いられている.本稿では環状暗視野像や明視野像を使って,高感度あるいは高精度に結晶構造を観察した結果を示す.構造直視性の基本となるincoherent imaging近似について,その近似を利用した解析例を示すとともに,近似の限界についても述べる.加えて電子回折図形を2次元マッピングする手法についても最近の結果を紹介する.

キーワード:走査透過電子顕微鏡,環状暗視野像,明視野像,高分解能観察,incoherent imaging近似

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