顕微鏡 第51巻▶第2号 2016
■解説

SEM像の不思議―弱い電子と帯電が作り出すコントラスト

関口隆史,熊谷和博a,b

物質・材料研究機構
産業技術総合研究所

要旨:走査電子顕微鏡(SEM)像は,形状だけでなく,観察対象の特性を反映して,我々に様々な像を見せてくれる.多様なSEM像は,時と場合に応じて取捨選択して用いれば良いが,なぜそのような像が見えるのかを理解し整理することは,走査電子顕微鏡学の発展には必須の作業である.本稿では,検出器や観察条件によって得られた矛盾する画像,所謂パラドックスを解明しながら,SEMの物理を展開する.

キーワード:二次電子,帯電,インレンズSEM,ナノシート,絶縁体