顕微鏡 第51巻▶第2号 2016
■最近の研究と技術

1.2MV原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡の開発

川﨑猛,高橋由夫,明石哲也,谷垣俊明,小内俊男,糟谷圭吾,古津忠夫,品田博之,長我部信行

(株)日立製作所 研究開発グループ
(株)日立ハイテクノロジーズ
(株)日立製作所 ヘルスケア社

要旨:超高圧電子顕微鏡として初めて収差補正器を搭載した1.2MV原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡を開発した.高分解能観察では43pmのインフォメーションリミットと44pmのGaN[411]ダンベル構造を,磁場フリー観察では0.24nmのインフォメーションリミット及びAu{111}結晶格子像を観察することができた.

キーワード:超高圧電子顕微鏡,収差補正,電界放出電子銃