顕微鏡 第44巻▶第4号 2009
■講座

収束電子回折法

津田健治

東北大学多元物質科学研究所

要旨:収束電子回折(Convergent-beam electron diffraction: CBED)法は,円錐状に収束した電子線を試料に入射し,ナノメーター程度の微小領域から回折図形を得る方法である.通常の制限視野電子回折では得られない,試料厚さ,結晶の対称性,格子定数・歪み,格子欠陥,結晶構造パラメーターなどさまざまな情報が得られる.CBED法について,基礎的な事項およびCBED図形を撮影する際のtipsについて述べ,応用について概説する.

キーワード:収束電子回折,零次ラウエ帯反射,高次ラウエ帯反射,点群・空間群,結晶構造解析

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