収差補正STEM-EDSによる原子分解能マッピング

奥西栄治，大西市朗

日本電子株式会社EM事業ユニットアプリケーション部

要旨：収差補正STEMの登場によりEELSと組み合わせた原子分解能マッピングによる原子コラム分析が多く報告されている．一方EDSにおいてはその検出立体角の低さから原子コラムマッピングは困難な場合が多い．最近この検出立体角を向上させた100mm²SDDが新しい検出器として開発された．本研究では100mm²SDDを用い，SrTiO₃，RB3021といった酸化物材料から原子コラムマップを取得したので報告する．

キーワード：エネルギー分散型X線分光，収差補正STEM，大立体角，原子分解能，シリコンドリフト検出器

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