原子分解能微分位相コントラストSTEM法の理論

関岳人^ａ，Sánchez-Santolino Gabriel^ａ，石川亮^ａ，幾原雄一^ａ,ｂ，柴田直哉^ａ,ｂ

^ａ東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
^ｂファインセラミックスセンターナノ構造研究所

要旨：微分位相コントラスト法は，走査型透過電子顕微鏡法の一種であり，方位角方向に分割した検出器やピクセル型検出器を用いることで，試料各点における電子線の偏向量を計測し，試料内部の電磁場を実空間観察する手法である．この手法は，これまで主に中低倍（nmからサブμm）における材料内部の磁場構造観察に応用されてきたが，近年，この微分位相コントラスト法を原子分解能観察に応用することで，原子電場の直接観察が試みられている．本稿では，原子分解能微分位相コントラスト法の理論と今後の展望について紹介する．

キーワード：微分位相コントラスト，STEM，原子電場，分割型検出器

≫本文PDF