線形加速器搭載の電子顕微鏡500 kV Linac TEMの開発

永谷幸則^ａ，新井善博^ｂ，三宮工^ｃ，白井忠雄^ｄ，相原龍三^ｅ，飯島義市^ｂ，永山國昭^ｆ

^ａ自然科学研究機構生理学研究所
^ｂテラベース株式会社
^ｃ東京工業大学
^ｄ無線テクノ科学
^ｅ相原製作所
^ｆ総合研究大学院大学

要旨：本開発は，透過電子顕微鏡（TEM）にマイクロ波を用いて電子を加速する線形加速器の技術を導入し，従来の直流加速方式よりも小型でコストを抑えた高加速のTEMの実現を目指すものである．線形加速器はマイクロ波の共振空洞内に生じる強い振動電場を用いて電子を加速するため，そのままではエネルギー分散は大きくなり過ぎ，電子顕微鏡に用いる事はできない．本稿では，それを解決するRFチョッパなどの技術について報告する．

キーワード：超高圧電子顕微鏡，線形加速器