TEM-CL分光法による電子材料中のナノ構造の電子状態評価

大野裕

東北大学金属材料研究所

要旨：透過電子顕微鏡（TEM）を用いたカソードルミネッセンス（CL）分光法は，エネルギー準位やキャリア再結合速度などの電子的なデータと同時に原子配列，組成，モフォロジーがその場評価できるため，電子材料に内包されたナノ構造の電子物性について深く議論を進めることができる強力な手法である．CLの原理と適用について概略し，TEM-CL分光法でナノ構造の電子物性がどこまで理解できるのか解析例を紹介する．

キーワード：TEM-CL分光法，半導体ナノ構造，双晶超格子，転位