SEM像の不思議―弱い電子と帯電が作り出すコントラスト

関口隆史^ａ，熊谷和博^ａ,ｂ

^ａ物質・材料研究機構
^ｂ産業技術総合研究所

要旨：走査電子顕微鏡（SEM）像は，形状だけでなく，観察対象の特性を反映して，我々に様々な像を見せてくれる．多様なSEM像は，時と場合に応じて取捨選択して用いれば良いが，なぜそのような像が見えるのかを理解し整理することは，走査電子顕微鏡学の発展には必須の作業である．本稿では，検出器や観察条件によって得られた矛盾する画像，所謂パラドックスを解明しながら，SEMの物理を展開する．

キーワード：二次電子，帯電，インレンズSEM，ナノシート，絶縁体