1.2MV原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡の開発

川﨑猛^ａ，高橋由夫^ａ，明石哲也^ａ，谷垣俊明^ａ，小内俊男^ａ，糟谷圭吾^ａ，古津忠夫^ｂ，品田博之^ａ，長我部信行^ｃ

^ａ（株）日立製作所　研究開発グループ
^ｂ（株）日立ハイテクノロジーズ
^ｃ（株）日立製作所　ヘルスケア社

要旨：超高圧電子顕微鏡として初めて収差補正器を搭載した1.2MV原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡を開発した．高分解能観察では43pmのインフォメーションリミットと44pmのGaN[411]ダンベル構造を，磁場フリー観察では0.24nmのインフォメーションリミット及びAu{111}結晶格子像を観察することができた．

キーワード：超高圧電子顕微鏡，収差補正，電界放出電子銃