低真空SEMでの信号検出

中村美樹^a，Milos Toth^b

^a日本エフイーアイ株式会社
^bFEI Company

要旨：近年における低真空走査型電子顕微鏡（低真空SEM）観察の進歩により，絶縁試料の高分解能二次電子（SE）像の観察，1000Paより高いガス圧下でのSE像の観察，および含水物質や液体物質のSE像や走査透過電子顕微鏡（STEM）像の観察が可能になった．本稿では，従来の低真空SEMのアプリケーションの幅を広げる新しい検出手法の発展について，フォトリソグラフィックマスク，ナノワイヤ，エアロゲル，人工雪，およびインフルエンザウイルスなどといった物質系の最先端画像を用いて議論し，説明する．

キーワード：低真空SEM，WET STEM，高分解能

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