透過電子顕微鏡内におけるナノ領域のトンネル伝導計測

有田正志^a，浜田弘一^a，広瀬龍介^a,b，大窪洋平^a,c，高橋庸夫^a

^a北海道大学大学院情報科学研究科
^b現所属　エスアイアイ・ナノテクノロジー
^c現所属　NTT未来ねっと研究所

要旨：ナノスケールの先端を持つ電極を取り付けたピエゾ素子搭載型TEMホルダー（TEM-STMホルダー）を用いて，数個～数十個，多くとも200個程度のナノ粒子からなる電流経路を選択し，TEM内においてナノ粒子系のトンネル伝導特性を調べた．その結果，単電子伝導の特徴を室温において確認できた．このように，TEM-STMその場実験はナノ領域の伝導計測に対して有効な方法である．

キーワード：透過電子顕微鏡，その場計測，TEM-STMホルダー，ナノ粒子，単電子トンネル

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