セラミックス材料評価における透過型電子顕微鏡法の活用

松元隆夫^a，本吉康弘^b

^a（株）日立製作所中央研究所
^b（株）村田製作所

要旨：透過電子顕微鏡法はナノメートル領域のセラミックス材料評価において高い空間分解能と時間分解能を併せ持つ極めて有効な手法である．本稿では，セラミックス材料の特性を支配する電気特性と微細構造の評価技術において，透過型電子顕微鏡法を強誘電ドメイン観察，粒界偏析分析，及び焼結過程の動的観察などに活用した例を紹介する．

キーワード：セラミックス，強誘電体，粒界，分極，ドメイン

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