走査電子顕微鏡を用いた鉄鋼微細組織の高分解能反射電子像観察
a住友金属工業株式会社総合技術研究所
要旨：最近，電界放射型電子銃を搭載したFE-SEMや極低加速電圧SEMなどの高性能SEMが広く利用されるようになり，鉄鋼材料解析においてもその活用が期待されているが，試料作製や観察手法に関しては未だに従来の技術を引き続き利用している場合が多く，装置の性能や特性を十分に活かした状態で利用しているとは言い難い．本稿では，最近の高性能SEMを鉄鋼材料観察に適用するための新しい試みとして取り組んでいる，高周波グロー放電によるアルゴンプラズマを用いた試料作製手法と，低出射角度で検出された反射電子像によるナノスケールサイズの微細組織の高分解能観察事例について紹介する．
キーワード：走査電子顕微鏡，高周波グロー放電，アルゴンプラズマ，反射電子，高分解能観察