X線回折顕微法

西野吉則

^a独立行政法人理化学研究所　播磨研究所　放射光科学総合研究センター

要旨：X線回折顕微法は，コヒーレントX線回折パターンから試料像を再構成する斬新な手法である．像再構成には計算機上での反復的位相回復法が用いられる．レンズを必要とせず，従来のX線顕微鏡の限界を超える高い空間分解能が達成できる．X線の高い透過能を利用した，厚い試料の内部構造の非破壊測定に特に有効である．理想的なX線位相コントラスト顕微法であり，無染色の細胞小器官など，X線に対して透明な物体に対しても高いコントラストが得られる．さらに，ナノ結晶試料のブラック反射近傍でのコヒーレントX線回折からは，歪み分布を得ることもできる．最先端のアンジュレーター放射光を利用した研究が世界的な広がりを見せている．また，次世代のX線源であるX線自由電子レーザーを利用した研究への期待も高まっている．本稿では，X線回折顕微法の原理および研究の動向について解説する．また，電子回折顕微法の研究の動向についても触れる．

キーワード：X線回折顕微法，コヒーレントX線，オーバーサンプリング，反復的位相回復法

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