イオン液体の電子顕微鏡応用

桑畑進^a,c，鳥本司^b,c，中澤英子^d

^a大阪大学大学院工学研究科
^b名古屋大学大学院工学研究科
^c科学技術振興機構-CREST
^d株式会社日立ハイテクノロジーズ

要旨：常温で液体状態の塩であるイオン液体は，蒸気圧が無視できるほど小さいゆえ，真空下でも全く蒸発しない．この性質に着目し，イオン液体を走査型電子顕微鏡の真空チャンバに入れて観察したところ，全く帯電しないことを発見した．すなわち，イオン液体は電子顕微鏡観察において，導電性液体のように振舞う．この性質を利用して，さまざまな新規の電子顕微鏡観察法を開発している．

キーワード：イオン液体，常温溶融塩，導電性付与，その場電子顕微鏡観察，濡れた試料の電子顕微鏡観察

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