走査型透過電子顕微鏡法による界面・表面の研究

幾原雄一^a,b,c，柴田直哉^a，溝口照康^a，山本剛久^a,b

^a東京大学大学院工学系研究科・総合研究機構
^b（財）ファインセラミックスセンター・ナノ構造研究所
^c東北大学原子分子材料科学高等研究機構（WPI機構）

要旨：結晶の界面や表面は特異な原子構造・電子状態を有しており，その機能特性と密接に関係している．このような界面・表面の極近傍にはドーパントや不純物（機能元素）が偏在し，これがその材料機能に決定的な役割を持つことが多い．本報では，機能元素を添加した種々のセラミックスの界面や表面に着目し，その微細構造について球面収差補正技術を駆使した走査型透過電子顕微鏡法（STEM）で詳細に解析した最新の結果を紹介する．

キーワード：走査型透過電子顕微鏡，界面，粒界，表面，ドーパント

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