電子回折顕微法

郷原一寿^a，上村理^b

^a北海道大学大学院工学研究科応用物理学専攻
^b株式会社日立製作所中央研究所

要旨：実験により得られる回折パターンをもとに，計算機のデジタル処理によってイメージングを行う回折顕微法に関する研究が活発化している．この手法は，結像のためのレンズを必要とせず，回折パターンを基本とするにもかかわらず，周期性を持たない非結晶な物質に対しても回折限界分解能のイメージングを実現することが原理的には可能である．回折顕微法の原理，研究の現状，電子回折顕微法の実験例を紹介し，最後に今後の課題と展望について触れる．

キーワード：回折顕微法，回折顕微鏡，位相問題，反復位相回復法

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