顕微鏡 第44巻▶第2号 2009
■最近の研究と技術

AEMによる薄膜試料のXEDS分析:最近の動向と発展

渡辺万三志

aDepartment of Materials Science and Engineering, Lehigh University

要旨:X線分光分法(XEDS: X-ray energy-dispersive spectrometry)を用いる分析電子顕微鏡法(AEM: analytical electron microscopy)はナノスケールでの材料評価に不可欠な手法の一つである.近年開発された収差補正技術を組み合わせることで,X線信号を十分に発生させる入射電流量でも1nm未満の入射電子線を形成できるため,本手法の更なる改善が期待される.本稿では,筆者らのX線分析法を中心に,(1)定量分析法の改善,(2)多変量統計解析法による微量信号検出技術の確立および(3)収差補正AEMによる原子レベル材料解析に関して紹介する.さらに,今後の動向について議論する.

キーワード:定量分析,ζファクター法,スペクトル・イメージング法,多変量統計解析法,収差補正

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