AEMによる薄膜試料のXEDS分析：最近の動向と発展

渡辺万三志

^aDepartment of Materials Science and Engineering, Lehigh University

要旨：X線分光分法（XEDS: X-ray energy-dispersive spectrometry）を用いる分析電子顕微鏡法（AEM: analytical electron microscopy）はナノスケールでの材料評価に不可欠な手法の一つである．近年開発された収差補正技術を組み合わせることで，X線信号を十分に発生させる入射電流量でも1nm未満の入射電子線を形成できるため，本手法の更なる改善が期待される．本稿では，筆者らのX線分析法を中心に，（1）定量分析法の改善，（2）多変量統計解析法による微量信号検出技術の確立および（3）収差補正AEMによる原子レベル材料解析に関して紹介する．さらに，今後の動向について議論する．

キーワード：定量分析，ζファクター法，スペクトル・イメージング法，多変量統計解析法，収差補正

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