表面電子顕微鏡法を用いた結晶成長・表面相転移の動的観察
aNTT物性科学基礎研究所
要旨：表面原子ステップをテンプレートとして，ナノ構造の自己形成を制御することを目指し，低エネルギー電子顕微鏡により，Si(111)表面で起きる様々な表面現象を動的に観察した．加熱や結晶成長，相転移中のステップの運動から，表面質量輸送機構を明らかにするとともに，ステップ形状を動的に制御できることを示す．さらに，ナノ構造の核形成・成長過程の動的観察から，表面原子ステップがナノ構造の配列制御に有益であることを示す．
キーワード：低エネルギー電子顕微鏡，自己形成，ステップ，表面質量輸送，シリコン