X線マイクロトモグラフィー

戸田裕之^a，小林正和^a，鈴木芳生^b，竹内晃久^b，上杉健太朗^b

^a豊橋技術科学大学生産システム工学系
^b高輝度光科学研究センター

要旨：シンクロトロン放射光による高分解能X線トモグラフィーを念頭に，X線の吸収や屈折を利用するX線イメージングの基礎的な事項，三次元画像再構成の原理，画像のS/N比などについて詳述する．また，第三世代の大型放射光施設であるSPring-8で現在利用できるX線トモグラフィーのセットアップについて，検出器やシンチレーターの特性も含めて紹介する．これらに加え，筆者らの研究事例など，各種応用研究の現状についても簡潔に触れる．本稿では，高い空間分解能が応用研究の鍵となることに鑑み，空間分解能を本質的に規定するサンプリングの考え方をはじめ，結像光学のための光学素子，検出器系やその他の各種因子など，様々な観点から空間分解能を考えていく．これは，X線の上流から下流に至る様々な因子が複雑に重畳し，X線トモグラフィーで得られる画像の空間分解能が規定されるためである．

キーワード：トモグラフィー，X線，シンクロトロン放射光，歪計測，元素分析

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