電子線トモグラフィーによる転位の三次元可視化技術

田中將己^ａ，東田賢二^ａ，金子賢治^ａ，光原昌寿^ｂ，波多聰^ｂ

^ａ九州大学大学院工学研究院材料工学部門
^ｂ九州大学大学院総合理工学研究院融合創造理工学部門

要旨：近年，各種透過電顕法とComputed tomography（CT）とを組み合わせた電子線トモグラフィーが注目を集め結晶性材料の観察へ活発に応用展開されている．その展開の一つとして，回折コントラストを利用した電子線トモグラフィーによる格子欠陥の三次元構造解析が挙げられる．本稿では，回折コントラストを利用した格子欠陥の観察法の中でも特に転位のトモグラフィーに焦点を当て，その手法についての解説を行うと供に，暗視野法，走査透過電子顕微鏡法，超高圧電子顕微鏡法，dual-axis法を用いた転位のトモグラフィーについても紹介する．

キーワード：電子線トモグラフィー，転位，亀裂，格子欠陥，STEM

≫本文PDF