遅延帰還を用いたダイナミックモード原子間力顕微鏡のカンチレバー振動の安定化

山末耕平^ａ，ｂ，引原隆士^ａ

^ａ京都大学大学院工学研究科
^ｂ東北大学電気通信研究所

要旨：ダイナミックモード原子間力顕微鏡において，探針―試料表面間相互作用の非線形性に起因して生じるカンチレバー振動の不安定化を抑制するため，市販装置に時間遅れフィードバック制御と呼ばれる振動制御法を実装した．磁場を用いたカンチレバー励振系とともに試作コントローラを実装することで，カンチレバーにおける不規則振動の発生を抑制し，安定な周期振動を維持することに実験的に成功した．

キーワード：原子間力顕微鏡（AFM），カンチレバー，非線形振動，フィードバック制御

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