電解研磨法の基礎と実際

坂公恭

名古屋大学名誉教授
名古屋大学エコトピア科学研究所特任教授

要旨：電解研磨法による透過型電子顕微鏡試料の作製法について，最近の進展も含めて概観した．特に，最近多用されているイオンミリングや集束イオンビーム（FIB）法との利害得失を比較した．

キーワード：電解研磨，透過型電子顕微鏡試料，超微量電解液研磨法

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