実環境下でのプロセス・特性評価のための収差補正・環境制御型透過電子顕微鏡とその応用

竹田精治^a，吉田秀人^a，桒内康文^b，Stephan Kujawa^c

^a大阪大学・産業科学研究所
^b大阪大学・大学院理学研究科
^cFEI Company

要旨：高分解能・高圧力タイプの環境セルと対物レンズの収差補正を組み合わせて，気体中の固体の振る舞いを原子スケールで観察できる収差補正・環境制御型透過電子顕微鏡（ETEM）を紹介する．本ETEMは従来よりも高圧力で高分解能観察が可能である．さらに，各種気体の切り替えを高速化させて，再現性のある安定した気体雰囲気下で試料を観察できる．本ETEMは，気体中で機能中の金属ナノ粒子触媒の観察に代表される　1）原子スケールでの機能の評価，およびカーボンナノチューブの気相成長などに代表される　2）物質合成プロセスの評価，などの「実環境下でのプロセス・特性評価への応用」が期待されている．また，本ETEMではETEM観察と通常の透過電子顕微鏡（TEM）／走査透過電子顕微鏡（STEM）観察の切り替えが容易であり，ETEM観察の前後で対物レンズの球面収差が補正された高性能分析STEM/TEMとしての利用も可能である．

キーワード：環境制御型透過電子顕微鏡，収差補正，触媒，カーボンナノチューブ，白金触媒

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