環状明視野（ABF）STEM法の理論と応用

柴田直哉^a,b，フィンドレイ　スコット^a，幾原雄一^a,c

^a東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
^b科学技術振興機構　さきがけ研究員
^cファインセラミックスセンター　ナノ構造研究所

要旨：収差補正STEM法は，原子レベルの材料解析において極めて有力な手法である．STEM法では主に高角度散乱された電子を選択的に検出するHAADF法が用いられてきたが，HAADF法は像コントラストが原子番号に強く依存するため，軽元素と重元素の同時観察には不向きであった．最近，低角度散乱された電子を環状検出器で検出する環状明視野（ABF）法により，結晶中の軽元素を極めて明瞭に観察できることが示され，材料解析への応用が期待されている．本稿では，ABF STEM法の特徴と像形成理論を概説するとともに，最近のアプリケーション例についても紹介する．

キーワード：走査透過型電子顕微鏡（STEM），ABF法，軽元素観察

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