反応科学超高圧電子顕微鏡の開発

田中信夫^ａ，臼倉治郎^ａ，楠美智子^ａ，斎藤弥八^ｂ，佐々木勝寛^ｂ，丹司敬義^ａ，武藤俊介^ｂ，荒井重勇^ａ

^ａ名古屋大学エコトピア科学研究所
^ｂ名古屋大学工学研究科

要旨：近年，電子顕微鏡の分野では，球面収差補正装置を使ったサブÅの超高分解能の実現とあわせ，ガス雰囲気や各種の機械的・電気的変調を加えながら試料の観察を行う「環境電子顕微鏡（Environmental TEM/STEM; ETEM/ESTEM）」が話題になっている．今回名古屋大学では世界に先駆けて10,000Pa（≅1/10気圧）までガスを入れたり，光や機械的変調を試料に加えられ，かつ3次元観察もできる100万ボルト超高圧電子顕微鏡を開発・設置した．本稿ではその開発の詳細と初期的データを説明する．

キーワード：環境超高圧電子顕微鏡，反応科学研究，その場観察，3次元観察，TEM/STEM

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