収差補正TEM/STEMの現状と今後の展望
名古屋大学エコトピア科学研究所
要旨：1990年代後半から収差，特に球面収差補正技術が実用化して，最初にTEM，次いで2000年頃からはSTEMにも搭載され，電子顕微鏡の分解能は0.1nmを切るようになった．また最近ではドイツとわが国で色収差補正装置の開発も進み，次の高分解能電子顕微鏡の目標は0.04nm以下の点分解能と原子レベルの3次元観察である．本稿ではこの間の歩みと現状を総括して今後の展望をさぐりたい．
キーワード：球面／色収差補正，TEM/STEM，ナノ分析手法，分解能の向上，3次元観察