回折コントラスト法による微細構造の観察

荒河一渡

大阪大学超高圧電子顕微鏡センター

要旨：TEM回折コントラスト法は，いわゆる高分解能TEM/STEMが適用できないような比較的厚い試料における微細構造の観察のみならず，比較的低倍率で試料全体の特徴を掴むためにも極めて有効な手法である．本稿では，TEM回折コントラスト法の結像原理と応用例について，格子欠陥を題材にその概要を述べる．

キーワード：格子欠陥，転位，コラム近似，弱ビーム暗視野法，インサイド・アウトサイド法