高活性材料の構造解析のための雰囲気遮断システム
株式会社日立ハイテクノロジーズ
要旨：リチウムイオン電池電極材のような大気と反応し易い高活性材料の構造解析を目的に，雰囲気遮断ホルダー，ローディングチャンバ装備のグローブボックス，集束イオンビーム加工装置，電子顕微鏡から構成される雰囲気遮断システムを開発し，充電済みリチウムイオン電池負極材を用いてその有効性を検証した．その結果，前処理，加工，観察・分析の全工程において，変質なく試料搬送が可能であることを確認し，負極材中に存在するLiの分布を可視化できた．
キーワード：雰囲気遮断システム，集束イオンビーム加工装置，電子顕微鏡，雰囲気遮断ホルダー，リチウムイオン電池