逆X線光電子ホログラフィーを用いた三次元（3D）原子像の再生

上坂彰朗^ａ，林好一^ｂ，松下智裕^ｃ，新井重俊^ａ

^ａ株式会社堀場製作所
^ｂ東北大学金属材料研究所
^ｃ財団法人高輝度光科学研究センター

要旨：逆X線光電子ホログラフィー（Internal-Detector Electron Holography）は，実験室レベルで特定原子周辺の三次元（3D）原子イメージングを可能にする技術であり，材料や表面科学の分野などにおいて有望な構造解析技術である．本稿では，本技術の原理と走査型電子顕微鏡（SEM）を用いたSrTiO₃単結晶の測定結果について紹介する．SPEA-MEMと呼ぶ原子像再生アルゴリズムを用いることにより，軽元素であるO原子も鮮明に再生され，高精度なSrTiO₃単結晶の3D原子像が得られた．

キーワード：ホログラフィー，走査型電子顕微鏡，ナノ構造解析，表面

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