TOF-SIMSによる有機材料の3次元ナノスケールイメージ解析
アルバック・ファイ株式会社
要旨：表面に非常に敏感で，元素あるいは分子種を高感度で検出可能な飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS; Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry）は，汎用の固体表面分析手法として様々な分野で活用されている．また，TOF-SIMSはサブミクロンの空間分解能で最表面の分子の分布を観察可能な唯一の分析手法であり，これまで分子イオンイメージの2次元から3次元への展開が期待されてきた．そのような状況の中，C60イオン銃やArガスクラスターイオン銃の登場により分子イオンイメージの3次元化が実現し，応用分野が一気に拡大している．本稿では，TOF-SIMSにおける2次元の分子イオンイメージングについて述べた後，分子イオンイメージの3次元化の重要性とそのスキームについて概説し，有機材料の3次元マスイメージ解析事例を紹介する．
キーワード：TOF-SIMS，有機材料，3次元イメージ，クラスターイオン