電子回折顕微鏡
ａ株式会社日立製作所 中央研究所
ｂ北海道大学大学院工学研究院
要旨：我々は，資源やエネルギー開発の分野において重要度の増している軽元素材料の解析に向けて，低加速電子ビームと回折イメージングを組み合わせた技術開発を行ってきた．実験により得た回折パターンを計算機処理し，試料構造像（再構成像）を得る回折イメージングは，レンズ収差に制限されない高分解能像が得られることや，位相像が取得できることなど，従来のイメージング手法と異なる特長を有する．本解説では，我々が行ってきた低加速電子ビームでの回折イメージング検証結果および原子分解能実証結果を示すとともに，これまでの研究開発の中でわかってきた回折イメージングの課題と，それに対する我々の取り組みに関して説明する．
キーワード：回折，位相，走査電子顕微鏡，透過電子顕微鏡，カーボンナノチューブ