2軸360°回転試料ホルダを用いた3次元磁場トモグラフィー
（株）日立製作所中央研究所
要旨：3次元磁場トモグラフィーの精度向上のためにμピラー用2軸360°回転試料ホルダを開発した．磁場の2成分は2つの回転シリーズ像から各々再構成し，残り1成分はMaxwell方程式を用いて計算する．しかし薄膜用試料ホルダでは投影角度制限のある2成分しか再構成できない．本試料ホルダでは投影角度制限の無い2成分が再構成でき，残り1成分の精度が大幅に向上する．このことを既知の磁場分布を持つ試料で検証した．
キーワード：磁場トモグラフィー，2軸360°回転試料ホルダ，μピラー試料，投影角度制限，電子線ホログラフィー