大気に開放された試料室を持つ大気圧走査電子顕微鏡の開発

西山英利^ａ，小泉充^ｂ，小川康司^ｂ，北村真一^ａ，小入羽祐治^ａ，須賀三雄^ａ，佐藤主税^ｃ

^ａ日本電子（株）
^ｂ日本電子テクニクス（株）
^ｃ産業技術総合研究所バイオメディカル研究部門

要旨：大気圧走査電子顕微鏡（ASEM）と光学顕微鏡を搭載した装置について，改良・追加された機能を述べる．試料は，大気に開放された薄膜ディッシュ上におかれる．ディッシュ底には電子線を透過可能な薄膜があり，その上に置く試料は液体に浸された状態でも良い．薄膜ディッシュは，倒立型SEM鏡筒の先端に設置され，鏡筒内を真空に保つシールの役割も果たす．また，薄膜ディッシュの上方には光顕を搭載しており，上から光顕像，下から薄膜を通して電子線を試料に照射しSEM像の取得ができる．改良・追加された機能は，モーターステージ，万が一の薄膜破壊に備えた鏡筒汚染保護機構，装置を制御するグラフィカルユーザーインターフェイスである．本装置は，ASEM観察しながらの試薬の投与を可能にし，体積変化のある現象にも対応できる．このような利点により，液中のシリカ粒子のランダムな運動を観察しながら，食塩水を滴下した際の反応を観察できた．

キーワード：電子顕微鏡，環境セル，ランダム運動，大気，ASEM

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