新環境制御型走査電子顕微鏡と生きている生物の観察

ヴィレェムネヂェラ^ａ，エヴァチラリッカヴァ^ａ，塩尻詢^ｂ

^ａチエコ共和国科学院科学機器研究所
^ｂ京都工芸繊維大学

要旨：科学機器研究所で開発した環境走査電子顕微鏡AQUASEMⅡは，後方散乱電子をYAG:Ce³⁺ scintillation単結晶で，二次電子（SE）を静電分離器付イオン化SE検出器，イオン化SE検出器，あるいは，新開発の走査電子顕微鏡・環境走査電子顕微鏡兼用scintillation SE検出器で検出する．これらの検出系と特別に設計した試料室差動排気・加湿系を装備し，従来困難とされた条件下での半導体などの試料や生きた状態にある生物の，その場あるいは動的その場観察を可能にした．

キーワード：環境制御型走査電子顕微鏡，生きた生物試料，その場観察，電子信号検出器，差動排気試料室

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