STEM-EELSによる高分解能電子状態解析
京都大学化学研究所
要旨：現在の電子顕微鏡技術は単に原子を見るだけではなく，元素の種類や状態をも原子分解能で区別できるようになっている．それを可能にするのが，走査型透過電子顕微鏡（STEM）と電子エネルギー損失分光法（EELS）の組み合わせである．本稿では，球面収差補正器が装備されたSTEMを用いて，最近の遷移金属酸化物材料を対象とした高分解能電子状態解析について実験・解釈における注意点などに触れながら紹介する．
キーワード：走査型透過電子顕微鏡，電子エネルギー損失分光法