EPMAの基礎技術と最新のFE-EPMAの紹介
株式会社島津製作所 分析計測事業部
要旨：近年，SEM-EDSはその技術革新により大変身近で便利な表面分析装置となったが，検出下限値が低く定量精度に優れるEPMA（ここではSEM-EDSと対比される，WDSを搭載した電子プローブマイクロアナライザーを指す）は引き続き様々な分野で問題解決に不可欠な表面分析装置として活用されていくものと考えられる．特に近年FE電子銃を搭載したEPMA（FE-EPMA）が登場したことにより，元素マッピング像の空間分解能が格段に向上し，その応用範囲はむしろ広がりつつある．本講座ではEPMAに関する理解をより深めていただくことを目的として，SEM-EDSとの違いについて簡単に触れた後，EPMAの特徴的な性能や機能について述べ，その後に最新のFE-EPMAによるアプリケーション例を紹介する．
キーワード：EDS，WDS，EPMA，SEM-EDS，FE-EPMA