Triple Cプロジェクトにおける色収差補正装置の開発

沢田英敬^ａ,ｂ，細川史生^ａ，佐々木健夫^ａ,ｂ，湯浅修一^ａ，片境浩二^ａ，脇俊作^ａ，川添宗之^ａ，清水有子^ａ，中道智寛^ａ，末永和知^ｂ,ｃ

^ａ日本電子株式会社
^ｂ科学技術振興機構
^ｃ産業技術総合研究所ナノチューブ応用研究センター

要旨：JST Triple Cプロジェクトの下で低加速電子顕微鏡の分解能向上を目標として色収差補正装置を開発し，加速電圧30 kVでの色収差補正を実験的に実証した．また，Cc/Cs補正タンデム光学系により色収差・球面収差同時補正を行い，低加速で原子分解能TEM観察に成功した．

キーワード：低加速電子顕微鏡，色収差，色二回非点

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