環状分割検出器を用いたホローコーンSTEMによる位相再生

石田高史^ａ，川﨑忠寛^ａ,ｂ，丹司敬義^ａ，生田孝^ｃ

^ａ名古屋大学未来材料・システム研究所
^ｂ一般財団法人ファインセラミックセンターナノ構造研究所
^ｃ大阪電気通信大学名誉教授

要旨：走査透過電子顕微鏡において，試料を透過した電子波の位相変化を回復する手法の1つとして円環絞りと環状アレイ検出器を用いた位相コントラスト環状明視野法を開発した．本手法は，円環絞りを用いてホローコーンビームを作ることにより分解能を維持したまま焦点深度を拡大することができるため，運動学的な近似が成立する範囲で厚い試料の定量的な投影ポテンシャルの再生に期待が持てる．本稿では，本手法で用いる電子光学系及び位相再生のプロセスの概要，実際に開発した装置，結晶性試料を用いた原理検証結果及びイメージシミュレーションを用いた本手法の応用可能性についての検討結果について紹介する．

キーワード：位相再生法，ホローコーン照明，分割検出器，フーリエフィルタリング

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