SEMにおける減速光学系を用いた反射電子の検出
a日本電子株式会社 計測検査機器本部
要旨：試料ステージにバイアス電圧を印加する減速モードと反射電子検出器を組み合わせて結晶性試料の低電圧観察を行った．試料にはDVD-RAMの最表層を取り上げた．入射電圧および試料バイアス電圧をそれぞれ0.8～30kVおよび0～2kVの範囲で変化させて観察を行った．入射電圧0.8kV，試料バイアス電圧0.5kVで，数10nm程度の微結晶分布を最も高いコントラストで観察出来た．
キーワード：SEM，反射電子像，結晶性コントラスト，低電圧，減速モード