収束電子回折法

津田健治

東北大学多元物質科学研究所

要旨：収束電子回折（Convergent-beam electron diffraction: CBED）法は，円錐状に収束した電子線を試料に入射し，ナノメーター程度の微小領域から回折図形を得る方法である．通常の制限視野電子回折では得られない，試料厚さ，結晶の対称性，格子定数・歪み，格子欠陥，結晶構造パラメーターなどさまざまな情報が得られる．CBED法について，基礎的な事項およびCBED図形を撮影する際のtipsについて述べ，応用について概説する．

キーワード：収束電子回折，零次ラウエ帯反射，高次ラウエ帯反射，点群・空間群，結晶構造解析

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