マイクロカロリメータEDSを搭載した分析電顕の開発
―現状と今後の展開―

原徹^a，田中啓一^b，前畑京介^c，満田和久^d，山崎典子^d，大崎光明^e，大田繁正^e，渡邉克晃^a，于秀珍^a，山中良浩^f，伊藤琢司^f

^a独立行政法人　物質・材料研究機構ナノ計測センター
^bエスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
^c九州大学大学院工学研究院エネルギー量子工学部門
^d独立行政法人宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究本部
^e日本電子株式会社
^f大陽日酸株式会社

要旨：透過型電子顕微鏡（TEM）におけるEDS分析のエネルギー分解能を大幅に向上させることを目的として，超伝導遷移端センサ型マイクロカロリメータをTEMに搭載した分析電顕を開発した．実験機として単素子検出器を無冷媒式冷凍機で駆動する検出器を製作し，現在，TEMの性能を損なわずにシリコンKα線の半値幅として7.6eVを達成しており，多くの近接したピークを分離した測定が可能になっている．

キーワード：マイクロカロリメータ，超伝導遷移端センサ，透過型電子顕微鏡，高エネルギー分解能，EDS

≫本文PDF