ナノ材料の研究における光学測定と電子顕微鏡法の統合
Key Laboratory for the Physics and Chemistry of Nanodevices and Department of Electronics, Peking University
要旨：本稿では一次元ナノ構造一つ一つの総合的分析のために光学測定技術とその場電子顕微鏡法を結合した当初の努力内容を概観する．二つの素直なアプローチ法を適用した．一つ目は一つのサンプルを幾つかの必要な装置で共有して同じ一個のナノ構造を特定して異なる分析技法で測定を行うもの．二つ目は光ファイバープローブとナノプローブ技術を走査電子顕微鏡（SEM）の中で結合し，総合分析システムを組み立てるものである．上記二つの方法を一次元ZnOナノ構造における緑光の発光の原因と導波特性を調べることに応用した．この総合分析システムによって光学エレクトロニクスデバイスのためのナノ構造のその場組み立てと分析をも可能にする．これらの例を使って，光学測定技術とその場電子顕微鏡法の組み合わせが光学エレクトロニクスナノ材料及びナノデバイス研究にとって強力なものとなることを示す．
キーワード：マイクロフォトルミネッセンス，その場電子顕微鏡，一次元ナノ構造，ZnO，光学エレクトロニクスナノデバイス