単原子ペンによるナノパターンニング
大阪大学・工学研究科
要旨：原子間力顕微鏡による力学的原子操作について最初に説明し，つぎに，異種原子交換型垂直原子操作現象の発見と，これが探針先端原子を試料表面原子と室温で直接垂直交換できる夢の交換型単原子ペンであることについて明らかにする．最後に，原子埋め込み文字“Si”の組み立てにより，交換型単原子ペンによる室温での高速ナノパターンニングの可能性を示す．
キーワード：原子間力顕微鏡，異種原子交換型垂直原子操作，原子埋め込み文字，新世代交換型単原子ペン，室温