単原子電子源を搭載した低加速走査型電子顕微鏡

千代田直紀^ａ，石川剛^ａ，ｂ，趙福来^ａ，ｃ，米澤彬^ｄ，齊藤秀一^ｅ，神田誠^ｆ，大島忠平^ａ

^ａ早稲田大学各務記念材料技術研究所
^ｂ現（株）豊田中央研究所
^ｃ現（株）日立ハイテクノロジーズ
^ｄ（株）ホロン
^ｅ（株）アプコ
^ｆ電気化学工業（株）

要旨：単原子電子源を搭載した低速走査顕微鏡の開発の現状について報告する．新電子銃では放出位置だけでなく，放出方向も正確に調整可能とした．従来の電界放出電子銃に比較して，3桁少ない全放出電流（数nA）で，通常のSEM観察ができることを確認した．現存空間分解能の向上が進行中である．

キーワード：ナノ電子源，単原子電子源，電界放出走査型電子顕微鏡，極高真空SEM

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