Delta型新球面収差補正装置

沢田英敬^ａ，ｂ，佐々木健夫^ａ，ｂ，湯浅修一^ｂ，寺尾光央^ｂ，川添宗之^ｂ，中道智寛^ｂ，細川史生^ｂ，金山俊克^ａ，ｂ，近藤行人^ｂ，木本浩司^ａ，ｃ，末永和知^ａ，ｄ

^ａ科学技術振興機構（JST CREST）
^ｂ日本電子株式会社
^ｃ物質・材料研究機構
^ｄ産業技術総合研究所ナノチューブ応用研究センター

要旨：高次収差が補正可能な新型球面収差補正装置を高分解能低加速電子顕微鏡用に開発した．三段12極子を装備しているのが特徴である．開発した装置の原理・実験結果について述べる．

キーワード：低加速電子顕微鏡，高次収差補正，六回非点，高分解能STEM/TEM

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