シリコン結晶中ドーパント原子・クラスターの検出
ａ大阪大学超高圧電子顕微鏡センター
ｂ東京工業大学大学院理工学研究科
要旨：シリコン結晶中にドーパント・クラスターが生成し，電子物性に影響を与えることが指摘されている．このクラスターを解明するには，原子レベルの3次元観察が必要である．近年，収差補正電子顕微鏡の開発により無収差の大収束角をもつ電子線プローブが実現し，空間分解能の向上だけでなく，深さ分解能の向上が期待されている．R005を用いて，6員環内のお互いに向かい合った原子位置にドーパントが入ったクラスター構造を観察した．
キーワード：走査型透過電子顕微鏡，高角環状暗視野法，シリコン，ドーパント，クラスター