顕微鏡 第46巻▶第1号 2011
■解説

環状明視野(ABF)STEM法の理論と応用

柴田直哉a,b,フィンドレイ スコットa,幾原雄一a,c

a東京大学大学院工学系研究科総合研究機構
b科学技術振興機構 さきがけ研究員
cファインセラミックスセンター ナノ構造研究所

要旨:収差補正STEM法は,原子レベルの材料解析において極めて有力な手法である.STEM法では主に高角度散乱された電子を選択的に検出するHAADF法が用いられてきたが,HAADF法は像コントラストが原子番号に強く依存するため,軽元素と重元素の同時観察には不向きであった.最近,低角度散乱された電子を環状検出器で検出する環状明視野(ABF)法により,結晶中の軽元素を極めて明瞭に観察できることが示され,材料解析への応用が期待されている.本稿では,ABF STEM法の特徴と像形成理論を概説するとともに,最近のアプリケーション例についても紹介する.

キーワード:走査透過型電子顕微鏡(STEM),ABF法,軽元素観察

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